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F09500 - SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
F09500 - SEMI F95 - 1.5 インチ 4 ファスナー構成タイプの表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネントの寸法の仕様
F09600 - SEMI F96 - CVD前駆体を含むキャニスターのポート構成の仕様
SEMI F96 - CVD前駆体を含むキャニスターのポート構成の仕様 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
F09600 - SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様
F09700 - SEMI F97 - 施設パッケージの統合、監視および制御の仕様
SEMI F97 - 施設パッケージの統合、監視および制御の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F09800 - SEMI F98 - 半導体プロセスにおける再利用水の処理に関するガイド
F09800 - SEMI F98 - 半導体プロセスにおける用水再処理のためのガイド
SEMI F98 - 半導体プロセスにおける用水再処理のためのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F09900 - SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様
F10000 - SEMI F100 - メートル法PFAチューブ用ダイヤフラムバルブの最小流量係数の適合性試験方法
F10100 - SEMI F101 - ガス供給システムにおける圧力調整器の性能を決定するための試験方法
F10100 - SEMI F101 - ガス分配システムの圧力レギュレータの性能を決めるための試験方法
F102000 - SEMI F102 - 表面実装ガス分配システムのコンポーネントの寸法の仕様を選択するためのガイド
F10300 - SEMI F103 - 液体化学物質を収容するステンレス鋼キャニスターのサイズ範囲の仕様
F10300 - SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器(キャニスター)の形状の仕様
F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの粒子寄与率を評価するための試験方法
F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品配分システムに使用されるコンポーネント評価のための粒子クル試験方法ガイドライン
F10500 - SEMI F105 - ガス供給システムにおける金属材料の適合性に関するガイド
F10600 - SEMI F106 - ヘリウムリークディテクタによるガス供給システムのリーク完全性を判定するための試験方法
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
F10700 - SEMI F107 - プロセス機器アダプタープレートのガイド
SEMI F107 - プロセス機器アダプタープレートのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F10800 - SEMI F108 - 半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池製造アプリケーション向けの液体化学配管コンポーネントの統合に関するガイド
F10900 - SEMI F109 - ヒーターシステム要件ガイド
SEMI F109 - ヒーターシステム要件ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F11000 - SEMI F110 - 単分散ポリスチレンラテックス (PSL) の試験方法 液体フィルターの課題
F11100 - SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法
SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900