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SEMI F109 - ヒーターシステム要件ガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なガス技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 12 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
このガイドの目的は、均一なヒーター システム要件を文書化するためのフレームワークを定義することです。この文書の使用目的は、ヒーター システム メーカーがカスタム ヒーターの要求者に提供するための一般的な形式として機能することです。
この文書の使用目的は、カスタム ヒーター システムの迅速な設計、開発、テスト、製造を支援するための統一された技術定義を提供することです。この文書は、半導体、フラット パネル、太陽光発電、および関連産業で使用されるあらゆる種類の抵抗電気ヒーター システムに適用されます。
この文書では、電気仕様、熱負荷、ケーブル配線、環境への配慮、性能、動作要件、制御システム仕様仕様、情報交換、パッケージング、およびテストの側面について説明します。
参照されるSEMI規格なし。
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