SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品配分システムに使用されるコンポーネント評価のための粒子クル試験方法ガイドライン -

Abstract

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本書では、超純水（ UPW ）流中のパーティクルに焦点を当てるコンポーネントを評価し比較するための推奨試験方法を示します。 F57 の粒子クル試験要求を満たす。

粒子クルの最適度を評価する2 つの方法を提案する。

すすぎ試験法では，コンポーネントの静的状態におけるフラッシングモード時の性能を評価する。これは，パーティクルレベルがユーザ定義の仕様にまで到達するのに必要な成分を示す。

サイクル試験法では，コンポーネントの繰り返しの性能を評価し，定常状態での繰り返しよる粒子クルの圧力度を示す。

これらの試験方法は、半導体製造装置よび補助装置に使用するための薬液とUPWシステムコンポーネントに適用される。

本書では、 UPW を試験媒体として使用しコンポーネントの粒子クル問題度を測定する方法を説明する。本書において、UPWの定義は本書の¶ 7.4で概説された最低要件を満たしているものとしている。

これらの方法は、現場用液体光学式粒子クル測定装置（ OPM ）を使って性能を定量する。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E49 — 高純度および超高純度のガイド 配管性能、サブアセンブリ、最終アセンブリ

SEMI F57 — に使用されるポリマーコンポーネントの仕様 超純水および薬液供給システム

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