SEMI F101 - ガス供給システムにおける圧力調整器の性能を決定するための試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 8 月 17 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2005 年 11 月。以前は 2017 年 10 月に出版されました。

この文書の目的は、ガスシステムへの設置を検討している圧力調整器のテスト方法を定義することです。この試験方法を適用すると、認定目的で試験された規制当局間で同等のデータが得られることが期待されます。

この文書は、レギュレータの性能特性を定量化するための試験方法を確立します。

この試験方法は圧力調整器に適用されます。これらの特性を測定するテスト手順は、以下に示す順序で連続して実行することを目的としています。この文書は、レギュレータの製造元またはユーザーが次の特性に関するレギュレータの性能を判断できるようにするテスト方法を指定します。

• 粒子数

• 漏れ

• クリープ/ロックアップ

・供給圧力の影響

• 解決

• 圧力対流量曲線、ヒステリシス曲線、および動作ヒステリシス値

• 再現性

・設定圧力の安定性

• ステップ関数過渡応答

• 共鳴

• 流量係数

• 過剰な圧力

• 耐久

このテスト方法は、メーカーとユーザー間のコミュニケーションに共通の基盤を提供します。

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
SEMI F32 — 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法

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