SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器（キャニスター）の形状の仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年11月21日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2007年2月にwww.semi.orgで。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、原料容器の最大外径、最大高さおよび内容積を規定するものである。薬液を入れるために設計されたステンレススチール製液体原料容器（以下、原料容器）は、プロセス装置のバブラー，または半導体／フラットパネルディスプレイ製造の薬液分配システムの容器として使用される。

本書は、円筒形状で安定に保持するために底部がフラットもしくは底部にスカートを保持する容器を対象とする。

内容積が40リットルを超える原料容器は、本範囲の対象外とする。

なし。

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