SEMI F100 - メートル法PFAチューブ用ダイヤフラムバルブの最小流量係数の適合性試験方法 -

Abstract

この試験方法は、世界液体化学委員会によって技術的に承認されました。この版は、2005 年 3 月 11 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2005 年 6 月には www.semi.org で入手可能になりました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この適合性試験方法は、メートル法のパーフルオロアルコキシ (PFA) チューブに対する各ダイヤフラム バルブの適合性を簡単に検証することを示します。

この文書では、メートル法 PFA チューブのダイヤフラム バルブの最小流量係数を与える相対オリフィスを指定します。

このコンプライアンス試験方法では、相対オリフィスと比較することによってダイヤフラム バルブの流量係数を検証する方法について説明します。

この仕様は、メートル法の PFA チューブで使用されるダイヤフラム バルブの容量を扱います。

これらのダイヤフラム バルブは、半導体およびフラット パネル ディスプレイ製造用の化学薬品分配システムで使用されます。

バルブはポリテトラフルオロエチレン (PTFE) や PFA などの材料で作られており、耐食性が高く、流体への汚染の影響が少ないです。

バルブは、最大 0.2 メガパスカル (MPa) [29 ポンド/平方インチ (psi)] の背圧に耐えます。

全開から全閉への切り替えが遮断弁の目的です。

なし。

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