SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの粒子寄与率を評価するための試験方法 -

Abstract

この文書は仕様とテストを提供します コンポーネントへの粒子の寄与を評価および比較する方法 超純水 (UPW) 流体ストリーム。粒子の寄与を評価する 2 つの方法 提供されています。

すすぎ試験方法は、次のような性能を評価します。 コンポーネントが静的状態 (アクティブに移動していない状態) の間のフラッシュ モード テスト対象のコンポーネント内のコンポーネント)。の指標を提供します。 粒子レベルを仕様に合わせるために必要なフラッシュ量。

動的テスト方法は、実行中のパフォーマンスを評価します。 コンポーネントの動作を確認し、定常状態の粒子を示します。 動的な動作条件による寄与。

これらの試験方法は液体化学薬品および UPW に適用されます。 半導体製造ツールでの使用を目的としたシステムコンポーネント 補助装置。

この文書では測定方法について説明します。 UPW をテスト媒体として使用する際のコンポーネントからの粒子寄与。 UPW、 この文書の意図と目的では、最低限のものとして定義されます。 この文書の ¶ 7.4 に概説されている要件。

これらの方法では、その場で液体光学粒子を使用します。 パフォーマンスを定量化するための測定 (OPM) 機器。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E49 — 高純度および超高純度のガイド 配管性能、サブアセンブリ、最終アセンブリ

SEMI F57 — に使用されるポリマーコンポーネントの仕様 超純水および薬液供給システム

改訂履歴

SEMI F104-0520 (技術改訂)

SEMI F104-0312 (技術改訂)

SEMI F104-1107 (初公開)

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