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SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この試験方法は、機器内に設置された機器ファンフィルターユニット (EFFU) の粒子除去特性を測定する手順を対象としています。
EFFU は粒子フィルター、ファン、モーターのアセンブリであるため、これらの部品の完全性は EFFU のパフォーマンスにとって非常に重要です。したがって、粒子フィルターの従来の粒子除去試験方法は、EFFU の粒子除去性能を評価するのには適していません。
この試験方法は、プロセス装置内で発生するパーティクルを除去するために密閉空間内に設置されるEFFUの評価方法を定めたものです。 EFFU の粒子除去性能は通常、フィルター媒体の性能と空気流量に依存します。 EFFU の性能を理解するには、フィルター媒体の特性、空気流量、EFFU 部品の完全性を同時に考慮する必要があります。このテスト方法は、EFFU のシステム パフォーマンスを実証することを目的としています。
参照されるSEMI規格
SEMI F38 — ポイントオブユースガスフィルターの効率認定のための試験方法
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