SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本仕様は、Global Gases Committee で技術的に承認されたもので、North American Gases Committee が直接責任を負うものである。 現版は2004年4月22日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。 2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2004年7月発行に至る。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、液体のケミカル原料、溶液、溶媒を保持する金属製（例えばステンレス鋼）キャニスターに使用される手のタイプ、寸法、慎重を規定するものである。

本書は、溶剤に原料を溶解した液体を含む「液体原料」（定義を参照）を保持するために使用される，金属製（例えばステンレス鋼）キャニスターに適用される。 -situクリーニングに使用される溶剤用の容器にも適用される。

液体の接続ポート（入口と出口）が含まれ、バルブに対する空圧部の接続形状も含む。

キャニスターの全体寸法のような欠点は，他の標準において規定されるものとされる。

SEMI F66 — 液体化学薬品用ステンレス鋼容器のポートマーキングおよびシンボルの仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.