SEMI F96 - CVD前駆体を含むキャニスターのポート構成の仕様 -

Abstract

この仕様は世界ガス委員会によって技術的に承認されており、北米ガス委員会が直接責任を負います。最新版は、2004 年 4 月 22 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2004 年 6 月に www.semi.org で入手可能でした。 2004 年 7 月に出版予定。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書は、液体化学前駆体、溶液、溶媒用の金属 (ステンレス鋼など) キャニスターに使用されるコネクタのタイプ、サイズ、間隔を指定します。

この文書は、溶媒中の前駆体の溶液を含む「液体前駆体」（定義を参照）に使用される金属（ステンレス鋼など）のキャニスターに適用されます。これは、配送システムの現場洗浄に使用される溶剤の容器にも適用されます。

バルブへの空気圧接続と同様に、液体接続ポート (入口と出口) が含まれています。

キャニスター全体の寸法などのパラメータは、他の規格によって指定されることが予想されます。

SEMI F66 — 液体化学薬品用ステンレス鋼容器のポートマーキングおよびシンボルの仕様

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