SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様 -

Abstract

この仕様は、世界液体化学委員会によって技術的に承認されました。この版は、2005 年 3 月 11 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2005 年 6 月には www.semi.org で入手可能になりました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書は、半導体およびフラット パネル ディスプレイ製造用の薬液供給施設およびプロセス装置でメートル法テトラフルオロエチレン パーフルオロアルキルビニルエーテル (PFA) チューブとともに使用されるダイヤフラム バルブの外形寸法を規定します。

この仕様は、面間寸法を除くメートル法 PFA チューブで使用されるダイヤフラム バルブの寸法を扱います。バルブには継手の焼き付きが多いため、本資料では面間寸法を記載しておりません。

これらのダイヤフラムバルブは空気圧バルブに限定されます。手動バルブの仕様は必要に応じて別途ご用意願います。

これらのダイヤフラム バルブは、半導体およびフラット パネル ディスプレイ製造用の化学薬品分配システムで使用されます。

バルブはテトラフルオロエチレン (PTFE) や PFA などの材料で作られており、耐食性が高く、流体への汚染寄与が少ないです。

バルブは、最大 0.2 メガパスカル (MPa) [29 ポンド/平方インチ (psi)] の背圧に耐えます。

SEMI F65 — メートル法 PFA チューブで使用されるダイヤフラムバルブの取り付けベースの寸法仕様

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