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SEMI F105 - ガス供給システムにおける金属材料の適合性に関するガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドの目的は、業界で許容される金属材料と半導体プロセスガスとの適合性を文書化することです。
このガイドは、半導体製造装置のガス供給システム内でプロセス ガスにさらされる金属材料に適用されます。高圧、大量の配送システムには適用できません。
このガイドは、高純度および超高純度の化学物質送達システムに特化しています。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI F19 — ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様
SEMI F20 — 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途に使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼の棒、鍛造品、押出形材、プレート、およびチューブの仕様
改訂履歴
SEMI F105-0914 (再承認 0922)
SEMI F105-0914 (技術改訂)
SEMI F105-0314 (技術改訂)
SEMI F105-0708 (技術改訂)
SEMI F105-1107 (初公開)
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