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SEMI F110 - 単分散ポリスチレンラテックス (PSL) の試験方法 液体フィルターの課題 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 2 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は2012年7月に出版されました。
注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
この文書は、液体フィルターの課題となる単分散ポリスチレン ラテックス (PSL) の試験方法を提供します。
この文書では、定格 50 ～ 200 nm の液体フィルターの単分散 PSL 粒子負荷試験方法について説明します。
この文書は、単分散 PSL チャレンジ試験の試験条件を定義します。
この文書では次の領域について説明します。
・流体、流量、圧力、PSL濃度、膜処理などの試験条件。
• 評価されるフィルタのタイプ。
• PSL のタイプ (参考資料)。
・吸着効果を減少させるための試験前の膜処理方法。
• テスト結果の説明。
参照されるSEMI規格SEMI F63 — 半導体プロセスで使用される超純水のガイド
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