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SEMI F103 - 液体化学物質を収容するステンレス鋼キャニスターのサイズ範囲の仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な液体化学物質委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 11 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。この版は、2007 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書には、キャニスターの最大外径、最大高さ、および公称容積が規定されています。このキャニスターは、薬液を入れるために設計されたステンレス製で、プロセス装置のバブラーや半導体/フラットパネルディスプレイ製造における薬液分配システムの容器として使用されます。
この文書は、安定させるために平らな底部またはスカート状の底部を有するステンレス鋼製の円筒形キャニスターに適用されます。
公称容量が 40 リットルを超えるキャニスターは対象外となります。
参照されるSEMI規格なし。
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