SEMI F108 - 半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池製造アプリケーション向けの液体化学配管コンポーネントの統合に関するガイド -

Abstract

この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2009 年 12 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2010 年 2 月に www.semi.org で入手可能になります。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書は、液体化学装置のメーカーおよびポリマーコンポーネントの統合により設置スペースの最小化を考慮する配管システム設置業者向けのガイドを提供します。

この文書はまた、半導体、フラットパネルディスプレイ、および太陽電池製造用の装置およびプロセス装置内の液体化学装置分配システムで使用されるポリマーコンポーネントの設置の実践を促進することも期待されています。

このガイドは、配管システム内で液体化学物質を輸送および制御するバルブ、レギュレーター、フィルターなどのポリマーコンポーネントに適用されます。

これらのコンポーネントおよび配管システムは、高い耐食性と低い流体汚染特性を備えた PTFE、PFA、PVDF、PVC、PP などの材料で構成されています。

SEMI F57-0301 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるポリマーコンポーネントの暫定仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.