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SEMI F106 - ヘリウムリークディテクタによるガス供給システムのリーク完全性を判定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な施設技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 8 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2008 年 3 月に出版されました。
この文書は、ガス供給システムの船内ヘリウム漏れ試験方法を定義します。
従来の金属面シールと表面実装ガス供給システムの両方をカバーします。
この試験方法は、半導体製造施設および同等の研究開発分野で使用されるすべてのタイプの高純度ガス供給システムに適用されます。
参照されるSEMI規格なし。
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