SEMI F102 - 表面実装ガス分配システムのコンポーネントの寸法の仕様を選択するためのガイド -

Abstract

この規格は、施設グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 5 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2006 年 3 月に出版されました。

この規格は、「表面実装ガス分配システムのコンポーネントの寸法の仕様」を選択するためのガイドを確立します。

この規格は、「表面実装ガス分配システムのコンポーネントの寸法の仕様」（SEMI F82、SEMI F83、SEMI F84、SEMI F85、SEMI F86、SEMI F87、SEMI F88、SEMI F89、SEMI F90、SE​​MI F91、SEMI F92）に適用されます。 、SEMI F93、SEMI F94、SEMI F95）。

SEMI F82 — 1.125 インチタイプ表面実装ガス分配システム用のマスフローコントローラ/マスフローメータの寸法仕様
SEMI F83 — 1.125 インチ タイプ 2 ファスナー構成の 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様 表面実装ガス分配システム
SEMI F84 — 1.125 インチ タイプ 2 ファスナー構成の表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様
SEMI F85 — 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成の 1 ポート コンポーネントの寸法仕様 表面実装ガス分配システム
SEMI F86 — 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成の 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様 表面実装ガス分配システム
SEMI F87 — 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成の表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様
SEMI F88 — 1.5 インチ タイプの表面実装ガス分配システム用の標準サイズのマスフロー コントローラおよびマスフロー メータの寸法の仕様
SEMI F89 — 1.5 インチ タイプの表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズのマスフロー コントローラおよびマスフロー メータの寸法の仕様
SEMI F90 — 1.5 インチ タイプ 2 ファスナー構成の表面実装ガス分配システム用の標準サイズ 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様
SEMI F91 — 1.5 インチ タイプ 2 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズ 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様
SEMI F92 — 1.5 インチ タイプ 2 ファスナー構成のコンパクト サイズ 3 ポート コンポーネントの寸法仕様 表面実装ガス分配システム
SEMI F93 — 1.5 インチ タイプ 4 ファスナー構成の 1 ポート コンポーネントの寸法仕様 表面実装ガス分配システム
SEMI F94 — 1.5 インチ 4 ファスナー構成タイプの表面実装ガス分配システム用の 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様
SEMI F95 — 1.5 インチ 4 ファスナー構成タイプの表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネントの寸法の仕様

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