SEMI F97 - 施設パッケージの統合、監視および制御の仕様 -

Abstract

注意：これ 標準または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。 現在のステータスが満たされていないことを維持します。非アクティブな規格または安全性 ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

の目的 この仕様はアーキテクチャの要件を提供するものであり、 施設監視制御システム (FMCS) の機能とインターフェイス およびさまざまなファシリティ パッケージ ユニット (FPU) により、標準化された、 それらの間の統合されたコミュニケーション。この仕様書には、 アプリケーション例を提供する関連情報。

背景と動機

今日、 FPU のサプライヤー (化学薬品、電源、ガス、HVAC など) は、多くの場合、 個々のコミュニケーションの概念。これにより、 FPU と FMCS の間の通信構造、引用された情報を評価するため ソリューションを開発し、最終的にはこれらのユニットを統合する予定です。これらの個人ではなく、 今日の標準化された概念は再利用できず、実行と主導においてリスクを負う 高額なメンテナンス費用につながります。

この仕様は、 施設と監視コンポーネント間の通信。したがって、焦点を当てるのは、 その範囲は、すべての FPU に共通する小さな要件セットに限定されます。として この通信コンセプトは、さまざまな FPU サプライヤーとそのサプライヤーによって採用されています。 顧客、特定の FPU とその FPU を説明するより具体的な規格 サービスが進化する可能性があります。

誰で、何なのか この標準によって対処されます。

あ FMCS と FPU 間の通信概念の標準化によりサポートされます。 FPUメーカー、ゼネコン、システムインテグレーター、購買業者、 制御システムメーカー。大幅なコスト削減につながり、さらに 信頼性の高い実行時間と最適化されたメンテナンスコンセプト。

これ 標準では、アーキテクチャ、共通サービス、 データ、および FPU を FMCS に統合するその意味論的な意味。このため 目的は、FMCS と FPU は、FPU ステータス情報とデータを交換するために指定されます。加えて、 FPU の状態モデルについて説明します。

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様

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