SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E14500 - SEMI E145 - XML における測定単位記号の分類
SEMI E145 - XML における測定単位記号の分類 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14600 - SEMI E146 - シリコンウェーハの保管および輸送に使用される微小環境からの粒子汚染を測定するための試験方法
E14700 - SEMI E147 - 機器データ収集 (EDA) のガイド
SEMI E147 - 機器データ収集 (EDA) のガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14800 - SEMI E148 - 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義
SEMI E148 - 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義 セール価格Member Price: ¥113
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E14900 - SEMI E149 - 製造装置の取得および使用に関する装置サプライヤー提供の文書ガイド
E15000 - SEMI E150 - 機器トレーニングのベストプラクティスに関するガイド
SEMI E150 - 機器トレーニングのベストプラクティスに関するガイド セール価格Member Price: ¥113
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E15100 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド
SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド セール価格Member Price: ¥113
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E15200 - SEMI E152 - 150 mm EUVL レチクル用 EUV ポッドの機械的特徴の仕様
SEMI E152 - 150 mm EUVL レチクル用 EUV ポッドの機械的特徴の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E15300 - SEMI E153 - AMHS SEM の仕様 (AMHS SEM)
SEMI E153 - AMHS SEM の仕様 (AMHS SEM) セール価格Member Price: ¥113
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E15400 - SEMI E154 - 450 mm ロード ポートの機械的特徴の仕様
SEMI E154 - 450 mm ロード ポートの機械的特徴の仕様 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
E15600 - SEMI E156 - 450 mm 自動マテリアル ハンドリング システム (AMHS) ストッカーと輸送機器の間の機械的インターフェイスの仕様
E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセス追跡の仕様E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセス追跡の仕様
SEMI E157 - モジュールプロセス追跡の仕様 セール価格 Member Price : ¥113
E15800 - SEMI E158 - 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械的特徴に関する仕様
E15900 - SEMI E159 - 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用されるマルチ アプリケーション キャリア (MAC) の機械的特徴に関する仕様
E16000 - SEMI E160 - データ品質の通信仕様
SEMI E160 - データ品質の通信仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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