SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E13000 - SEMI E130 - 300 mm 環境用プローバ特定機器モデルの仕様 (PSEM300)
SEMI E130 - 300 mm 環境用プローバ特定機器モデルの仕様 (PSEM300) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13100 - SEMI E131 - ボルト M を使用した 300 mm ツールへの統合測定モジュール (IMM) の物理インターフェイスの仕様
E13200 - SEMI E132 - 機器クライアントの認証および認可の仕様
E13300 - SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインターフェイスの仕様
SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインターフェイスの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13400 - SEMI E134 - データ収集管理の仕様
SEMI E134 - データ収集管理の仕様 セール価格 Member Price : ¥113
E13500 - SEMI E135 - 半導体処理装置で使用される RF 電力供給システムの過渡応答を決定するための RF ジェネレータのテスト方法
E13600 - SEMI E136 - 半導体処理装置の RF 電力供給システムで使用される RF 発生器の出力電力を決定するための試験方法
E13700 - SEMI E137 - 半導体製造装置の最終組み立て、梱包、輸送、開梱、および移設に関するガイド
E13800 - SEMI E138 - XML Semiconductor 共通コンポーネントの仕様
SEMI E138 - XML Semiconductor 共通コンポーネントの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13900 - SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様
SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14000 - SEMI E140 - ガス供給システムの所有コスト (COO) メトリクスを計算するためのガイド
E14100 - SEMI E141 - 統合計測学で使用するエリプソメータ装置の仕様ガイド
SEMI E141 - 統合計測学で使用するエリプソメータ装置の仕様ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14200 - SEMI E142 - 基板マッピングの仕様
SEMI E142 - 基板マッピングの仕様 セール価格 Member Price : ¥225
E14300 - SEMI E143 - 任意の位相角で VSWR 2.0 の 50 Ω 負荷への電力と変動、および負荷への電力変動とスペクトルを測定するための試験方法
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造およびマテリアルハンドリング機器におけるキャリアのRFIDタグとRFIDリーダー間のRFエアインターフェースの仕様
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