SEMI E130 - 300 mm 環境用プローバ特定機器モデルの仕様 (PSEM300) -

Abstract

注意: SEMI E130の名称は、SEMI E130.1のリビジョンを反映するために、0618発行サイクル中に更新されました。

この文書は、300 mm 規格の世界共同ガイダンス (PSEM300) に準拠して工場に配備されたプローバー装置のプローバー固有の装置モデルを確立します。 PSEM300 は、このクラスの機器に適用され、実装する必要がある機器の特性と動作で構成されます。この文書の目的は、自動化された半導体工場へのプローバ装置の統合を容易にすることです。この文書は、ホストから見たプローバ装置の運用モデルを定義することでこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作を提供します。

PSEM300 は、SEMI E30 (GEM) の汎用プロセス状態モデルを、プローバー装置用の特定のプロセス状態モデルで拡張します。この規格はプロトコルに依存しないように努めています。 SEMI E30 (GEM) のプロトコル依存の側面を置き換える試みはありません。その代わりに、この文書は、関連する 300 mm 規格の概念と動作でカバーされていない特定の機器の機能が、SEMI E30 内で定義された概念と動作を使用してサポートされることを前提としています。 SEMI E30 規定の説明については、§ 9 を参照してください。

この文書は、機器の機能の完全なセットを定義しようとするものではありません。この文書に記載されている要件に加えて、追加の付加価値機能が提供されることが理解されます。

この文書は、基板内のサイトのホスト指示によるインデックス作成と基板のロード/アンロードを目的としています。テスターとプローバー装置の間の GPIB または RS-232C などの通信による自動自己インデックス付けは、この仕様の範囲外ですが、排除されません。参考として「関連情報」セクションを参照してください。

この文書では、例外の回復や、アラーム/潜在的アラーム (警告) 状況から回復するための手動操作についてはあまり説明しません。このような条件は通常、構成固有です。

この規格は、概念や動作からメッセージング サービスに至るまでのソリューションを示しています。メッセージング プロトコルは定義されません。

下位標準:
SEMI E130.1-1104 (再承認 0618) - 300 mm 環境用プローバ特定機器モデル用の SECS-II プロトコルの仕様 (PSEM300)

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI G81 — 地図データ項目の仕様
SEMI G85 — 地図データ形式の仕様
SEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てる仕様

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