SEMI E140 - ガス供給システムの所有コスト (COO) メトリクスを計算するためのガイド -

Abstract

このガイドの目的は、半導体および関連産業におけるガス供給システムの単位生産コスト効率を評価するための標準的な所有コスト (COO) 指標を提供することです。
ガス送達システムには、固体、液体、または気体の供給源から送達されるガスが含まれます。

このガイドでは、COO メトリクスをガス供給システムに適用する方法も説明します。ユーザーは、このガイドを使用して、あらゆるガス供給装置の COO を計算できる必要があります。

このガイドは、完全または制約付きの COO 計算ツールを構築するために必要な定義、分類、アルゴリズム、方法、および値の例を提供することにより、設備関連コストの理解を容易にする明確に定義された手順を確立します。

このガイドでは、あらゆるガス供給システムに適用できる COO メトリックを定義します。一部の用語は集積回路ウェーハおよびデバイスの製造に特化していますが、関連業界の他の用途にも適用できる場合があります。

COO モデルを構築するためにメトリクスを効果的に使用するには、制約とデータ値を特定する必要があります。可能であれば、入力値を二次モデルから導出したり、サンプル値を使用したりするのではなく、直接値を使用してください。

COO の完全な計算には、多くの場合、独自に保持されるデータが必要であり、工場全体の歩留まりおよび関連する歩留まり損失のコストと結びついています。このガイドは、工場内および設備の最適化、投資評価、設備の設計とプロセスの改善に使用できることが想定されています。

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様
SEMI E35 — 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド
SEMI E72 — 機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド
SEMI E79 — 機器の生産性の定義と測定に関する仕様

改訂履歴
SEMI E140-1022 (技術改訂)
SEMI E140-0618 (技術改訂)
SEMI E140-0312 (技術改訂)
SEMI E140-0305 (初公開)

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