SEMI E131 - ボルト M を使用した 300 mm ツールへの統合測定モジュール (IMM) の物理インターフェイスの仕様 -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書は、SEMI E63 (BOLTS-M) で定義されているインターフェースを使用する統合測定モジュール (IMM) と 300 mm ツール間のインターフェース要件の仕様を確立します。

この規格により、ツールのサプライヤー、ロボットのサプライヤー、および測定モジュールのサプライヤーは、機械レベルでプラグアンドプレイの統合測定ソリューションを提供できるようになります。

この規格の目的は、測定データへの迅速なアクセスを通じてプロセス監視を容易にし、プロセスと測定装置の間でのマテリアルハンドリングを削減し、スループットの低下を最小限に抑えながら、またはまったく低下させずにプロセス監視を強化する機会を提供することです。

この規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と相互運用性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。これは、既存の SEMI 規格を可能な限り利用しながら、BOLTS-M インターフェイスを使用した 300 mm プロセス ツールを対象とした (ただしこれに限定されない) 測定モジュールの統合のための機械インターフェイス仕様を確立します。

この規格では、インターフェイスのツール側に SEMI E63 を使用することを指定しています。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様

SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様

SEMI E57 — 300 mm キャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティック カップリングの機械仕様

SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの機械仕様

SEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様

SEMI E127 — 統合測定モジュール通信の仕様: 概念、動作、およびサービス (IMMC)

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