SEMI E142 - 基板マッピングの仕様 -

Abstract

注意: SEMI E142の名称は、SEMI E142.1の改訂とSEMI E142.4の作成を反映するために、0922発行サイクル中に更新されました。

この仕様は、ウェーハ、フレーム、ストリップ、トレイなどの基板のマップ データをレポート、保存、送信するために必要なデータ項目を定義します。

このバージョンの仕様は、ウェーハ、フレーム、ストリップ、トレイなどの基板タイプに適用されます。

この仕様は、半導体デバイスのテストを含むアセンブリとパッケージングについて扱います。

下位標準（付属）
SEMI E142.1-0921E — 基板マッピング用の XML スキーマの仕様
SEMI E142.2-1016 — 基板マッピング用の SECS II プロトコルの仕様
SEMI E142.3-1016 — 基板マッピングのための Web サービスの仕様
SEMI E142.4-1022 — アイテム転送を使用した基板マッピングのための SECS II プロトコルの仕様

 

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準の仕様。コンセプト・行動・サービス

改訂履歴

SEMI E142-1022 (指定更新)
SEMI E142-0921 (技術改訂)

SEMI E142-0820 (技術改訂)

SEMI E142-0211 (再承認 1016)

SEMI E142-0211 (指定の更新)

SEMI E142-0706 (技術改訂)

SEMI E142-0306 (技術改訂)

SEMI E142-1105 (技術改訂)

SEMI E142-0305 (初公開)

SEMI E142.1-0921E (技術改訂)
SEMI E142.1-0921 (技術改訂)

SEMI E142.1-1016 (技術改訂)

SEMI E142.1-0211 (技術改訂)

SEMI E142.1-0706 (技術改訂)

SEMI E142.1-0306 (技術改訂)

SEMI E142.1-1105 (技術改訂)

SEMI E142.1-0705 (技術改訂)

SEMI E142.1-0305 (最初の発行)

SEMI E142.2-1016 (技術改訂)

SEMI E142.2-0211 (技術改訂)

SEMI E142.2-0306 (初公開)

SEMI E142.3-1016 (技術改訂)

SEMI E142.3-0211 (技術改訂)

SEMI E142.3-0706 (初公開)

SEMI E142.4-1022 (初公開)

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