SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E16100 - SEMI E161 - トレーニング階層の識別と分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニング階層の識別と分類に関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E16200 - SEMI E162 - 450 mm フロントオープン配送ボックス ロード ポートのメカニカル インターフェース仕様
E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内でのレチクルおよびその他の極めて静電気に敏感な (EES) アイテムの取り扱いに関するガイド
E16400 - SEMI E164 - EDA 共通メタデータの仕様
SEMI E164 - EDA 共通メタデータの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E16500 - SEMI E165 - 専用のトレーニング機器が利用できない場合の包括的な機器トレーニング システムのガイド
E16600 - SEMI E166 - 450 mm クラスタ モジュール インターフェイスの仕様: 機械インターフェイスおよびトランスポート標準
E16700 - SEMI E167 - 機器省エネモード通信 (EESM) の仕様
SEMI E167 - 機器省エネモード通信 (EESM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E16800 - SEMI E168 - 製品時間測定の仕様
SEMI E168 - 製品時間測定の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E16900 - SEMI E169 - 機器情報システムセキュリティガイド
SEMI E169 - 機器情報システムセキュリティガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E17000 - SEMI E170 - レシピ管理システムの安全な基盤 (SFORMS) の仕様
SEMI E170 - レシピ管理システムの安全な基盤 (SFORMS) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E17100 - SEMI E171 - 予測運送業者物流 (PCL) の仕様
SEMI E171 - 予測運送業者物流 (PCL) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E17200 - SEMI E172 - SECS 機器データ辞書 (SEDD) の仕様
SEMI E172 - SECS 機器データ辞書 (SEDD) の仕様 セール価格 Member Price : ¥113
E17300 - SEMI E173 - XML SECS-II メッセージ表記法 (SMN) の仕様
SEMI E173 - XML SECS-II メッセージ表記法 (SMN) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E17400 - SEMI E174 - ウェーハジョブ管理 (WJM) の仕様
SEMI E174 - ウェーハジョブ管理 (WJM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E17500 - SEMI E175 - サブシステム省エネモード通信(SESMC)の仕様
SEMI E175 - サブシステム省エネモード通信(SESMC)の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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