SEMI E168 - 製品時間測定の仕様 -

Abstract

この規格は、Metrics Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2014 年 8 月 25 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2014 年 1 月に出版され、以前は 2014 年 11 月に出版されました。

注意: SEMI E168の指定は、SEMI E168.2およびSEMI E168.3の作成を反映するために、0915発行サイクル中に更新されました。

この仕様の目的は、工場内の製品ライフサイクルにおける製品時間の無駄を特定し、排除するためのサポートを半導体業界に提供することです。この仕様には、製品時間測定 (PTM) へのアプローチが記載されており、これを均一に適用すると、ある生産ラインから別の生産ラインと比較できる結果の作成がサポートされます。

この仕様は、工場内での製品ユニットの製品時間の無駄の検出と削減をサポートするために、工場データを整理および前処理する方法を定義します。

この方法では、ユーザーが指定した期間を取得し、それを連続した時間セグメントに分割し、各時間セグメントをアクティブ時間または待機時間のタイプとして分類します。

工場イベントとコンテキスト データは、時間セグメントを描写するために使用されます。 PTM の出力は、すぐに分析できるデータセットです。特定の製品時間の無駄を特定するためのデータ分析手順は、この仕様から除外されます。

この仕様は、製品ユニットの工場ライフサイクルにおける製品時間の無駄を特定して排除することにより、サイクルタイムの短縮をサポートするデータを収集および結合するための共通のアプローチを定義します。これは、さまざまな種類の工場 (例: ウェハー製造工場、フラット パネル ディスプレイ工場) や工場内のさまざまな側面 (例: 生産設備、自動マテリアル ハンドリング システムなど) を含むさまざまな領域に適用できるように、一般的な方法で定義されています。 AMHS])。

PTM は、個々の基板レベルまたはロット レベルで適用できます。

下位文書:

SEMI E168.1-1114 - GEM 300 生産装置における製品時間測定の仕様

SEMI E168.2-0915 - 材料管理システムの製品時間測定の仕様

SEMI E168.3-0915 - 輸送時の製品時間測定の仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI E148 — 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義
SEMI E151 — データ品質を理解するためのガイド
SEMI E157 — モジュールプロセス追跡の仕様
SEMI E160 — データ品質の伝達に関する仕様
SEMI E164 — EDA共通メタデータの仕様

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