SEMI E172 - SECS 機器データ辞書 (SEDD) の仕様 -

Abstract

この仕様の目的は、あらゆる生産設備の SECS-II インターフェースの主要な要素を記述するデータセットの形式と内容を定義することです。これは、SECS Equipment Data Dictionary (SEDD) と呼ばれるドキュメントの一種です。これは主に、機器サプライヤーがそのような文書を顧客に提供する手段として意図されています。お客様は、このドキュメントを使用して、生産設備と通信する工場用ソフトウェアの開発を合理化することが期待されています。

この仕様は、従来の紙 (または同等の) 機器インターフェース文書の必要性を排除することを目的としたものではありません。これはそのドキュメントの補足です。

SEDD は、SECS-II インターフェイスの主要な要素を文書化するデータ セットであることを目的としています。このデータが提供される形式は、人間とソフトウェア アプリケーションの両方が理解できるようにすることを目的としています。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E164 — EDA共通メタデータの仕様
SEMI E173 — XML SECS-II メッセージ表記法 (SMN) の仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.