SEMI E171 - 予測運送業者物流 (PCL) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 5 月 11 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2014 年 9 月に出版されました。以前は 2016 年 2 月に出版されました。

この規格の目的は、半導体製造システムまたは類似の装置における装置の連続処理のためのキャリアのシームレスなカスケードをサポートするために、装置と工場システムの間でキャリアのロジスティクス関連情報、特に予測情報を交換するための通信スキームを提供することです。

この規格の目的は、工場システムとのより良い同期を促進するために、予測的な運送業者物流情報を交換するために、機器内の運送業者物流管理ステータスを表すモデルを提供することです。

この規格では、設備におけるキャリアの物流管理を表現するモデルをCarrier Logistics Job (CLJ)として定義しています。 CLJには以下の機能が含まれています。

• 運送業者の物流管理の状態管理
• 時刻やロードポートの割り当てなどの予測情報変更時の提出、再提出、撤回などの予測管理
• キャリアIDの割り当て
• ロードポートの割り当て

この規格では、機器内の複数の CLJ の管理を表現するモデルを Carrier Flow Job (CFJ) として定義します。 CFJには以下の機能が含まれています。

• 工程オーダーごとのCLJのオーダー管理
• 運送業者物流オーダーごとの CLJ の予測管理
• キャリアのスケジューリング
• 1 つのロード ポートでの複数の CLJ のキューイングを含むロード ポートのスケジューリング
• 内部バッファ装置用の CLJ へのロード ポート調停

この規格は、CLJ および CFJ モデルへのサービスおよび CLJ モデルおよび CFJ モデルからのイベントの仕様を対象としています。

この規格は、固定バッファ装置と内部バッファ装置の両方の PCL 仕様をカバーしています。

この規格は、非スロット整合性動作との互換性を対象としています。

下位標準:

SEMI E171.1-0216 - 予測運送業者物流のための SECS-II プロトコルの仕様

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス (OSS)
SEMI E40 — 処理管理 (PM) の標準
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理 (CJM) の仕様

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