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SEMI E175 - サブシステム省エネモード通信（SESMC）の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 10 月 17 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
この仕様の目的は、スリープ レベルの遷移を使用して省エネ モード (エネルギー消費率の削減) 動作を可能にする生産設備とサブシステム間の通信を定義することです。サブシステムのステータスを管理し、伝達する手段が生産設備に提供され、調整された方法でサブシステムの省エネモード動作を開始 (および終了) します。
この仕様は、省エネモードの動作やスリープレベルの管理を容易にするために、生産装置と各サブシステム間の通信と動作を定義します。
この仕様は以下を対象としています:
- 状態モデルの形式でのサブシステムの省エネ モード動作の定義。
- スリープ レベルを介してサブシステムの省エネ モード動作を管理するための通信。
SEMI E167 — 機器省エネモード通信 (EESM) の仕様
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド
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