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SEMI E162 - 450 mm フロントオープン配送ボックス ロード ポートのメカニカル インターフェース仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書の目的は、450 のフロント オープニング型輸送ボックス (FOSB) をロードおよびアンロードできる、半導体製造装置のロード ポートの基本インターフェイス寸法を定義することです。この文書の目的は、革新的なソリューションを制限することなく、ロード ポートとキャリアの相互運用性を可能にする一連の要件と機能を定義することです。
この文書のインターフェース仕様は、関連する SEMI 450 mm FOSB 規格に準拠したキャリアによって推進され、それに準拠するキャリアと嵌合することを目的としています。
積み込みと積み降ろしは、あらゆる種類のシステムまたはデバイス (たとえば、有人誘導車両や天井ホイスト車両) を使用して、半自動および自動モードで行われると想定されます。
参照されるSEMI規格
SEMI E154 — 450 mm ロードポートのメカニカルインターフェース仕様
SEMI M80 — 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様
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