E16700 - SEMI E167 - 機器省エネモード通信 (EESM) の仕様

SEMI E167 - 機器省エネモード通信 (EESM) の仕様 -

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Volume(s): Equipment Automation Software
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI E167-1213 - 現在

リビジョン

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 8 月 22 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2013 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。

この仕様の目的は、生産設備のエネルギー消費率の削減を促進するためのメッセージングと動作を定義することです。工場システム (ホスト) が機器の省エネモードを開始 (および終了) するためのメカニズムが提供されます。

この規格は、生産装置のエネルギー消費率の削減を促進するために、ホストと生産装置間のメッセージ サービスと動作を定義します。

この規格は以下を対象としています:

  • 機器の省エネモードの定義 状態モデルの形での通信動作

  • 機器省エネモード通信の管理に必要なメッセージサービスと通信内容の仕様

下位文書:

SEMI E167.1-1213 -機器省エネモード通信用の SECS-II プロトコルの仕様

参照されるSEMI規格

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド

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