SEMI E170 - レシピ管理システムの安全な基盤 (SFORMS) の仕様 -

Abstract

この規格の目的は、半導体製造システムなどの RMS の基盤として使用される、標準化された「レシピ管理システム (RMS) と装置間の安全、安全かつ効率的なレシピ操作メカニズム」を提供することです。

この標準の目的は、特に次の概念で RMS をサポートする、標準化された「RMS と機器間の安全、安全、効率的なレシピ操作メカニズム」を提供することです。

• レシピの管理は RMS に集中化されます (Single Point Of Recipe Management [SPORM] コンセプト)。

• レシピのマスター コピーのストレージは RMS のレシピ サーバーに集中化されます (レシピ サーバー セントリックの概念)。

この標準の目的は、次の側面で RMS をサポートすることです。

• レシピ識別機能の拡張

• 目的ごとに保護されたレシピ空間を定義することにより、機器内のレシピを非特権アクセスから保護します。

• キャッシュに基づく自動一貫性維持メカニズムを提供することにより、機器内のレシピとレシピ サーバー内のレシピの一貫性を維持するために必要なオペレータの労力を軽減します。

• オプションの実行前チェック機構を提供することにより、レシピサーバーを使用して機器内のレシピの一貫性を認証します。

• キャッシュによる自動転送機構の提供により、生産に使用するレシピをレシピサーバーから装置にダウンロードするオペレータの労力を軽減

• キャッシュ動作の採用により、レシピダウンロード関連トランザクションによる通信および計算のオーバーヘッドとコストを削減

• 機器または他のワークステーション上のレシピ アプリケーション (レシピ エディタなど) を使用して、ホスト RMS 上のレシピにアクセスするためのリモート アクセス機能の追加

この標準の目的は、展開を容易にするために、以下の側面で現在の実践と同様またはそのスーパーセットをサポートするレシピ操作メカニズムを提供することです。

• レシピの識別と独自性の制御

・レシピ連携

• 変数パラメータの管理

・実行直前にレシピサーバー内のレシピとの整合性チェック（実行前チェック）

• プレダウンロード モードやフル ダウンロード モードなどの従来のレシピ ダウンロード モード

この規格は、RMS の基盤として使用することを目的とした、安全で効率的なレシピ操作メカニズムの定義と使用法をカバーしています。

この規格は、一意性やセキュリティなどの複数の側面からレシピを識別する拡張レシピ識別スキームの定義と使用法をカバーしています。

この標準は、レシピ操作のさまざまなセキュリティ レベルに対して論理的に分離されたレシピ スペースを提供するために、複数のレシピ スペースを管理する安全なレシピ スペース管理メカニズムの定義と使用法をカバーしています。

この規格では、装置が量産用に使用されているかどうかを示す装置ステータスフラグの定義と使用法について説明します。

この規格は、ホストによる実稼働実行のための安全、安全かつ効率的なレシピ操作を可能にする、ホストから機器へのレシピ供給メカニズムの定義と使用法をカバーしています。

この規格は、機器内の安全なレシピ空間の 1 つとして、プロダクション レシピ キャッシュ (PRC) と呼ばれる新しいレシピ空間の定義を取り上げています。これは、レシピがホストと同期され、不正な変更から保護される、ホスト制御のプロセス実行専用です。オペレーション。

この標準は、PRC 内のレシピが非特権アクセスから保護され、ホスト内のレシピ サーバー上のレシピと一貫性が保たれるように PRC を管理するメカニズムと操作の定義を対象としています。

この標準は、機器または他のワークステーション上のレシピ アプリケーションを使用して、RMS のレシピ サーバー上のレシピへのリモート アクセスを可能にするリモート アクセス操作メカニズムの定義と使用法を対象としています。

下位標準:

SEMI E170.1-0520 -レシピ管理システムの安全な基盤のための SECS-II プロトコルの仕様

参照されるSEMI規格

SEMI E30 — 通信および通信用の汎用モデルの仕様 製造装置の制御（GEM）

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準の仕様: 概念、 行動とサービス

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

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