SEMI E169 - 機器情報システムセキュリティガイド -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 2 月 10 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は2014年4月に出版されました。

コンピュータウイルスによる情報破壊、情報漏洩による機密侵害、サービス妨害による情報利用制限などの事件が日々世界中で報告されています。半導体製造装置の情報システムもこれらの脅威にさらされています。

このため、半導体製造装置においてはセキュリティ対策が必須となっています。

半導体製造装置のセキュリティには次のような要件があります。

• 機器のパフォーマンスに悪影響を与えないマルウェア（ウイルス）保護
• 設備稼働効率を落とさないレシピの機密保護
• 機密性のセキュリティを損なうことなく、トラブルシューティングのために機器の動作ログ ファイルを利用可能
• 機密性のセキュリティを損なうことなく、ユーザーが機器設計情報を利用できるようにする

個々の装置ユーザーの半導体製造ラインの経営計画に合わせたセキュリティ対策が可能です。機器情報システムのセキュリティポリシーは、機器のユーザーとサプライヤー間で交渉する必要があり、顧客ごとに内容が異なるため非効率的です。さらに、これらの取引の堅牢性と持続可能性は実証されていません。半導体製造装置の情報セキュリティに関するガイドラインが必要です。

この規格の目的は、機器情報システムのセキュリティに関する共通の基盤を確立することです。半導体製造装置のユーザーやサプライヤー間で共有でき、情報セキュリティの考え方や対策の提案が可能です。

この規格では次のことが期待されています。

• コスト、納期、信頼性を最適化するために、機器に適切なセキュリティ対策を適用するためのガイドラインを提供します。
• 工場内の機器の役割と責任についての知識を提供することで、ユーザー セキュリティ システムの設計をより簡単かつ堅牢にします。
• 業界のニーズと評価方法を表現するための共通言語を提供し、業界内で一貫した理解を得る。
• オープンスタンダードを推進して、移植可能で相互運用可能な実装を提供します。

ドメイン

この規格は、半導体製造装置の運用の領域を対象としています。

ドメインには次のものが含まれます。

• 機器と対話するエンティティ (人、プロセス、システム)
• 機器動作のデータオブジェクト
• 機器内部に組み込まれた情報システムコンポーネント

機器ドメインの外部のエンティティ (工場や会社など) は、そのエンティティが機器の情報セキュリティに関連する場合にのみ扱われます。

科目

この規格は、機器の運用に関連する情報セキュリティに関するガイドラインの作成において、次の主題を扱います。

• 情報セキュリティの目標 (機密性、完全性、可用性)
• 担保対象資産（設備情報資産）
• 設備情報システムがサポートすべき役割
• 重要なセキュリティ要件 (例: マルウェア保護、ネットワーク上の不正アクセス保護、ローカル操作、ハードウェア、コンポーネントの廃棄など)

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS)
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E87 — キャリア管理の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI E116 — 機器性能追跡の仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E125 — 機器自己記述 (EQSD) の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
SEMI E134 — データ収集管理の仕様
SEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様
SEMI E147 — 機器データ収集 (EDA) のガイド
SEMI E148 — 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義
SEMI E157 — モジュールプロセス追跡の仕様

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