SEMI E166 - 450 mm クラスタ モジュール インターフェイスの仕様: 機械インターフェイスおよびトランスポート標準 -

Abstract

この規格の目的は、450 mm のクラスタ ツールを構成するトランスポート モジュールとプロセス モジュール間の物理的な接続の必要最小限のレベルを確保することです。両方のモジュールがこの規格の要件を満たしていれば、プロセス モジュールは最小限の設計変更で任意のクラスタ ツールのトランスポート モジュールに接続できることが期待されます。

プロセスモジュールは、モジュールごとに実質的に異なる可能性がある場所でウェーハを受け入れます。これにより、クラスタ ツール内のさまざまなプロセス モジュールとの間でウェーハを移動するトランスポート モジュールの機能に負担がかかります。この仕様は、モジュール内のウェーハ搬送面を定義します。これにより、ウェーハ搬送の問題が大幅に回避されますが、プロセス モジュールの内容が過度に制限されることはありません。

この規格は、クラスター ツールのモジュール間のインターフェイス プレーンを定義します。これは、一緒に接続されるトランスポートモジュールとプロセスモジュールの間のインターフェースにおける機械的仕様を提供します。モジュールの内容に要件は課されません。

この規格は、以下の例外を除き、直径 450 mm のウェーハおよびクラスター ツール モジュール間のインターフェイスにのみ適用されます。トランスポート モジュールはインターフェイス プレーン全体で動作します。したがって、プロセスモジュール内のウェーハ搬送面の定義が必要です。

参照されるSEMI規格

SEMI E21 — クラスタツールモジュールインターフェースの仕様: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送

SEMI E21.1 — クラスターツールモジュールインターフェース 300 mm の仕様: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送

SEMI E154 — 450 mm ロードポートの機械的特徴の仕様

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