SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内でのレチクルおよびその他の極めて静電気に敏感な (EES) アイテムの取り扱いに関するガイド -

Abstract

この規格は、Metrics Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2012 年 2 月に出版されました。

この文書の目的は、半導体製造装置や設備における静電気や電界によって引き起こされる生産性への悪影響を最小限に抑えることです。これは、静電気の帯電、電圧、電界に対して非常に静電気に敏感 (EES) であるレチクルやその他のアイテムの取り扱い環境の最適な静電気適合性を確立するためのガイドです。このガイドは SEMI E78 および SEMI E129 を補完するもので、最も静電気による損傷を受けやすいアイテムの保護を向上させることを目的としています。

この文書は、機器の設計およびテスト中の機器メーカー、およびレチクルやその他の EES アイテムを使用または製造する人向けのガイドとして使用できます。

半導体および電子デバイスの製造に使用されるプロセス技術は、アクティブな機能の密度とデバイスの複雑さの増加を達成し続けています。集積度が向上し、相互接続が長くなり、導体間隔が小さくなると、フィールド関連の問題に対する感度が高まります。この文書は、既存の静電気軽減技術を補足するものとして、電界を詳しく調査することによって損傷の問題に対処するための推奨事項を提供します。

この文書の範囲は、特別に指定された制御環境内でレチクルおよびその他の EES アイテムを取り扱うための原則の定義と、その環境内で維持するための適切な電界レベルの推奨に限定されます。

この文書は、確立された静電荷制御方法 (たとえば、100 ボルトの人体モデル [HBM] 感度のデバイスについて ANSI/ESD S20.20 で定義されている方法) と矛盾する接地および材料の選択に関する推奨事項を示しているため、ここで提供されるガイダンスは次のとおりである必要があります。特別に指定され、明確に識別された領域内でのみ適用されます。

この文書では、SEMI E78、SEMI E129、SEMI E43、およびその他の静電パラメータの測定方法について言及しています。この一連の文書は補完的なものであり、幅広い条件下での静電気リスクのさまざまな側面を管理するためのガイダンスを提供します。

この文書では静電界とその影響について頻繁に言及していますが、このガイドの目的上、これには交流、変動、過渡的な電界および電磁界も含まれるとみなされる必要があります。このようなフィールドはすべて、EES アイテム内に電気的ストレスを発生させる可能性があります。

この文書でレチクルに言及する場合は常に、これは詳細に研究され、説明の目的で使用されている EES アイテムの一例として見なされるべきです。ここで議論されている原則は、極度の静電気に敏感な他のアイテムにも関連する可能性があるため、このガイダンスはレチクルおよびレチクルの取り扱いに限定されたものとみなされるべきではありません。このような EES アイテムには、ウェーハ上の小さな幾何学形状のデバイス構造、帯電デバイス モデル (CDM) の感度が問題となる可能性があるバックエンド処理におけるパッケージ化されたデバイス、およびフラット パネル ディスプレイ (FPD) 製造におけるガラス上のデバイス構造が含まれる場合があります。

SEMI E43 — 物体および表面の静電気測定のためのガイド
SEMI E78 — 機器の静電気放電 (ESD) および静電気吸引 (ESA) を評価および制御するためのガイド
SEMI E129 — 半導体製造施設における静電気の評価と制御に関するガイド

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