SEMI E164 - EDA 共通メタデータの仕様 -

Abstract

この目的 仕様とは、以下を定義することで実装間の共通性を促進することです。 SEMI E125に基づく機器メタデータの共通表現と規約 機器の自己説明の仕様。

この範囲 仕様には以下が含まれます:

- 特定の要素を定義するための一般的なアプローチ 機器メタデータ

- 選択したSEMIコミュニケーションのメタデータ表現 300 mm 半導体工場で広く使用されている規格を含む

この仕様では以下を定義します SEMI E125-0710 および SEMI E120-0310 に基づく機器メタデータ。

この仕様は生産装置にのみ適用されます 基質に作用するもの。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E30 — の汎用モデルの仕様 製造装置の通信と制御 (GEM)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準の仕様: 概念、動作、サービス

SEMI E40 — 処理管理の仕様

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様

SEMI E116 — 機器の性能に関する仕様 追跡 (EPT)

SEMI E120 — 共通機器モデルの仕様 (CEM)

SEMI E125 — 機器の自己記述の仕様 (等SD)

SEMI E132 — 機器クライアントの仕様 認証と認可

SEMI E134 — データ収集管理の仕様 (DCM)

SEMI E145 — における測定単位記号の分類 XML

SEMI E148 — 時刻同期と TS クロック オブジェクトの定義

SEMI E157 — モジュールプロセス追跡の仕様

改訂履歴

SEMI E164-0414 (再承認 0721)

SEMI E164-0414 (技術改訂)

SEMI E164-0313E (編集改訂版)

SEMI E164-0313 (技術改訂)

SEMI E164-0712 (初公開)

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