SEMI E134 - データ収集管理の仕様 -

Abstract

この仕様は、EDA アプリケーションが装置から自動化された方法で、または EDA アプリケーションからのアドホック要求で通信されるように装置からのプロセスとデータを要求するためのデータ収集方法を説明します。これには、関連データをグループに整理するメカニズムが含まれており、多数のデータ ソースの有効化または無効化をより簡単にし、EDA アプリケーションが目的に応じて関連データをグループに整理できるようになります。

この仕様は、指定されたデータ収集計画を使用して、半導体装置からイベント、例外、およびトレース データを取得する手段を提供します。この仕様は、データ収集計画の形式、その内容の意味、および機器によってサポートされるデータ収集計画を管理するためのインターフェイスを定義します。

この仕様は、有限状態マシンの形式でデータ収集計画の実行に関連する動作を定義します。データ収集計画の実行の結果として生成されるデータの形式も、データ収集計画出力の EDA アプリケーションによってサポートされるインターフェイスと同様に定義されます。

この仕様は、データ収集を含む機器上のアクティビティの組み合わせにより、機器のパフォーマンスがサプライヤーが定義した基準を下回っている場合に、機器がユーザーに通知する方法を定義します。

この仕様は、データ収集計画の範囲外で、ユーザーが機器からのデータに対してアドホックなオンデマンド要求を行う方法を定義します。

下位標準（付属）
SEMI E134.1-0414 — データ収集管理 (DCM) の SOAP バインディングの仕様
SEMI E134.2-1022 — データ収集管理のプロトコルバッファの仕様

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E39 — オブジェクトサービスの仕様: 概念、動作、およびサービス
SEMI E40 — 処理管理の仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.