SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインターフェイスの仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 8 月 17 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2004 年 3 月に出版されました。以前は 2018 年 3 月に出版されました。

ランツーラン（R2R）制御、故障検出（FD）、故障分類（FC）、故障予測（FP）、統計的プロセス制御（SPC）などのプロセス制御システム（PCS）の統合をより効率的に促進するため) などを現在および将来のファブに導入するには、PCS が効率的に対話してデータを (1) ファブ間で、および (2) 他の相互依存するファクトリ システム (機器データ収集を含む) と共有できるようにするインターフェイスを定義する必要があります。この規格は、将来開発される製品で PCS 標準を利用する機器サプライヤー、半導体メーカー、機器サブシステム サプライヤー、および制御システム サプライヤーによる使用を目的としています。

範囲

この規格は、PCS 機能、機能グループ (FG)、および FG インターフェイスの定義に焦点を当てています。スタンダードは、将来の投票を通じて新しい FG をスタンダードに追加できるように構成されています。このドキュメントのコンポーネントには次のものが含まれます。

• このドメインに関連する重要な用語と概念の定義。

• 使用される仕様規則の説明。

• PCS の範囲内の主要な FG の特定。

• 各 FG に期待される機能の説明 (必須およびオプション)、および

• これらの FG のインターフェイスの定義。次のものが含まれます。

• これらのインターフェース間で利用可能なデータ。これには、インターフェイス データの説明 (入力と出力) が含まれます。この仕様の将来の拡張には、すべての PCS FG に共通の継承および集約モデルの形式の詳細なデータ構造と、それぞれの固有のモデルが含まれる予定です。

• サポートされるサービスと想定されるインターフェイス動作、および

• コンプライアンス検証テストのアプローチの説明。

これらのインターフェイス仕様の特定の形式とプロトコルの実装は、テクノロジ固有であり、この標準に対する「ドット」仕様のサポートで説明されます。例として、可能な形式は eXtensible Markup Language (XML) (データ型定義とメタモデル スキーマを含む) です。

この規格に具体化された情報に加えて、この規格では、実際の実装上の問題をできるだけ早く特定し、対処するための検証プロセスについても説明します。

下位標準:

SEMI E133.1-0318 - プロセス制御システム (PCS) の XML メッセージングの仕様

SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E134 — データ収集管理の仕様
SEMI E148 — 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義

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