Japan Store
SEMI E138 - XML Semiconductor 共通コンポーネントの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2005 年 3 月に出版されました。以前は 2016 年 5 月に出版されました。
この文書は、単一の規格に固有ではなく、複数の規格に共通する共通の XML 要素を定義するための中心的な場所です。
この文書は、共通コンポーネントとみなされるエラー、データ型、データ値型、および単位の表現を定義します。共通コンポーネントは、XML ベースの SEMI 標準インターフェイス仕様の一部として生成された他の XML ドキュメントまたはスキーマと関連付けて使用されます。
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
SEMI E134 — データ収集管理の仕様
SEMI E145 — XML における測定単位記号の分類
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件