SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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E11500 - SEMI E115 - 半導体処理装置の RF 電力供給システムで使用される整合ネットワークの負荷インピーダンスと効率を決定するためのテスト方法
E11600 - SEMI E116 - 機器性能追跡の仕様
SEMI E116 - 機器性能追跡の仕様 セール価格Member Price: ¥225
Non-Member Price: ¥62,700
E11700 - SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様
SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E11800 - SEMI E118 - ウェーハ ID リーダー通信インターフェースの仕様 -- ウェーハ ID リーダーの機能標準: 概念、動作、およびサービス
E11900 - SEMI E119 - 300 mm ウェーハの工場間輸送用の縮小ピッチフロントオープンボックスの機械仕様
E12000 - SEMI E120 - 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E120 - 共通機器モデル (CEM) の仕様 セール価格 Member Price : ¥113
E12100 - SEMI E121 - 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
E12200 - SEMI E122 - テスター機器固有機器モデル (TSEM) の仕様
SEMI E122 - テスター機器固有機器モデル (TSEM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12300 - SEMI E123 - ハンドラー機器固有機器モデル (HSEM) の仕様
SEMI E123 - ハンドラー機器固有機器モデル (HSEM) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12400 - SEMI E124 - 工場全体効率 (OFE) およびその他の関連する工場レベルの生産性指標の定義と計算に関するガイド
E12500 - SEMI E125 - 機器自己記述の仕様 (EqSD)
SEMI E125 - 機器自己記述の仕様 (EqSD) セール価格 Member Price : ¥113
E12600 - SEMI E126 - 機器品質情報パラメータの仕様 (EQIP)
SEMI E126 - 機器品質情報パラメータの仕様 (EQIP) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12700 - SEMI E127 - 統合測定モジュール通信の仕様: 概念、動作、およびサービス (IMMC)
E12800 - SEMI E128 - XML メッセージ構造の仕様
SEMI E128 - XML メッセージ構造の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12900 - SEMI E129 - 半導体製造施設における静電気の評価と制御に関するガイド
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