SEMI E123 - ハンドラー機器固有機器モデル (HSEM) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 3 月に出版されました。以前は 2009 年 10 月に出版されました。

注意: この規格は、2003 年 3 月 (0303) 発行サイクルの時点で発行から削除された SEMI E30.2 に代わるものです。

この文書は、取扱い装置 (HSEM) の特定装置モデル (SEM) を確立します。 SEM は、このクラスの装置に適用できる装置の特性と動作で構成されます。この文書の目的は、自動化された (半導体) 工場へのハンドリング装置の統合を促進することです。この文書は、ファクトリーオートメーションコントローラーから見たハン​​ドリング機器の運用モデルを定義することでこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作を提供します。

この文書の範囲は、ホストによって認識される処理装置の動作の定義に限定されます。機器の通信インターフェイスを介した機器のビューを定義します。機器の内部動作を定義するものではありません。これには、このクラスのすべての機器の動作の基礎として、特定の処理状態モデルが含まれています。

この文書は、処理状態モデル、収集イベント、アラーム文書化、リモートコマンド、変数項目、およびプロセスプログラム管理の領域におけるハンドラー機器の要件と機能を拡張します。

下位標準:

SEMI E123.1-0703 (再承認 1109) - ハンドラー固有機器モデル (HSEM) の SECS-II プロトコルの仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)

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