SEMI E125 - 機器自己記述の仕様 (EqSD) -

Abstract

この仕様では、機器サプライヤーが自社の機器から利用できる変数、イベント、例外、および物理的な機器構成の説明を提供できるようにする方法について説明します。この情報をソフトウェア システムで利用できるため、工場の自動化システムに機器を統合するプロセスを支援するツールとして使用できます。

この規格は、サプライヤーが自社の機器によって提供される重要なデータ、イベント、および例外を記述するために使用するクラスを指定します。この仕様では、本質的に静的な情報 (つまり、機器の稼働中に動的に変化しない情報) のみを説明します。この標準は、クライアント セッションがこの情報にアクセスするために使用できるインターフェイスも指定します。

この仕様は、データ収集管理に関する SEMI 仕様で定義されているデータ収集インターフェースをサポートするすべての半導体製造装置に適用されます。
この仕様は、機器の構成、インターフェース、および利用可能なデータを記述する情報を取得し、この情報を最新の状態に保つために必要な動作以外に、機器に必要な新しい動作を定義しません。

メタデータによって記述できる、基礎となる概念および動作モデル (例: キャリア管理、プロセス/制御ジョブなど) の詳細は、それらの概念専用の文書で個別に指定されます。サプライヤーがそのような概念を実装していること、およびクライアント セッションがこの実装と生成できるデータを検出できるという事実を記述する機能のみが、この仕様の範囲内です。

この仕様は、機器によって提供されるメタデータが人間が直接判読できるものであることを要求しません。アプリケーションは、エンド ユーザーが理解しやすい形式でこの情報を整理し、人間のユーザーに提示するように作成されることが期待されています。

下位標準（付属）
SEMI E125.1-0414 — 機器自己記述用の石鹸結合の仕様 (EqSD)
SEMI E125.2-1022 — 機器自己記述（EqSD）用のプロトコルバッファの仕様

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E39 — オブジェクト サービスの仕様: 概念、動作、およびサービス
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
SEMI E134 — データ収集管理の仕様

改訂履歴
SEMI E125-1022 (技術改訂)
SEMI E125-0414 (技術改訂)
SEMI E125-0710 (技術改訂)
SEMI E125-0310 (技術改訂)
SEMI E125-0709 (技術改訂)
SEMI E125-0308 (指定の更新)
SEMI E125-0307 (技術改訂)
SEMI E125-0306 (技術改訂)
SEMI E125-1105 (技術改訂)
SEMI E125-0305 (指定更新)
SEMI E125-1104 (技術改訂)
SEMI E125-0704 (技術改訂)
SEMI E125-0304 (技術改訂)
SEMI E125-0703 (初公開)

SEMI E125.1-0414 (技術改訂)
SEMI E125.1-0710 (技術改訂)
SEMI E125.1-0310 (技術改訂)
SEMI E125.1-0709 (技術改訂)
SEMI E125.1-0308 (技術改訂)
SEMI E125.1-1107 (技術改訂)
SEMI E125.1-0307 (技術改訂)
SEMI E125.1-1105 (技術改訂)
SEMI E125.1-0305 (初公開)

SEMI E125.2-1022 (初公開)

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.