SEMI E118 - ウェーハ ID リーダー通信インターフェースの仕様 -- ウェーハ ID リーダーの機能標準: 概念、動作、およびサービス -

Abstract

この仕様は世界的な情報制御委員会によって技術的に承認されており、日本の情報制御委員会が直接責任を負います。最新版は、2002 年 7 月 19 日に日本地域標準委員会によって承認されました。最初は 2002 年 10 月に www.semi.org で入手可能でした。 2002 年 11 月に出版予定。

E この規格は、図 R2-1 の誤りを修正するために 2005 年 2 月に編集上修正されました。

注意: SEMI E118の指定は、SEMI E118.1の作成を反映するために、1104発行サイクル中に更新されました。

Wafer ID Reader Functional Standard の目的は、Wafer ID Reader によって上流のコントローラーに提供される概念、動作、サービス (機能) の共通仕様を提供することです。標準インターフェイスにより、ウェーハ ID リーダーの互換性が向上し、ユーザーと装置サプライヤーの選択肢が広がります。

下位標準:

SEMI E118.1-1104 - ウェーハ ID リーダー通信インターフェース規格の SECS-I および SECS-II プロトコルの仕様

SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの暫定機械仕様

SEMI E62 — 300 mm 前開きインターフェース機械規格 (FIMS) の暫定仕様

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

SEMI E99 — キャリア ID リーダー/ライター機能標準: 概念、動作、およびサービスの仕様

SEMI E101 — EFEM 機能構造モデルの暫定ガイド

SEMI T7 — 二次元マトリックスコードシンボルを使用した両面研磨ウェーハの裏面マーキングの仕様

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