SEMI E122 - テスター機器固有機器モデル (TSEM) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 3 月に出版されました。以前は 2009 年 11 月に出版されました。

注意: この規格は、2003 年 3 月 (0303) 発行サイクルの時点で発行から削除された SEMI E30.3 に代わるものです。

この文書は、機器をテストするための特定機器モデル (TSEM) を確立します。 TSEM は、このクラスの機器に適用される機器の特性と動作で構成されます。これらの特性と動作は実装する必要があります。この文書の目的は、自動化された半導体工場へのテスト装置の統合を容易にすることです。この文書は、ファクトリーオートメーションコントローラーから見たテスト装置の運用モデルを定義することでこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作を提供します。

この文書は、ホスト通信リンクを介した装置のビューを定義しますが、装置の内部動作は定義しません。これには、このクラスのすべての機器の動作の基礎として、特定の処理状態モデルが含まれています。

この文書は、処理状態モデル、収集イベント、アラーム文書化、リモート コマンド、変数項目、およびプロセス プログラム管理の領域におけるテスト機器の要件と機能を拡張します。

下位標準:

SEMI E122.1-0703 (再承認 1109) — テスター固有機器モデル (TSEM) 用の SECS-II プロトコルの仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)

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