SEMI E126 - 機器品質情報パラメータの仕様 (EQIP) -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 7 月に出版されました。以前は 2013 年 6 月に出版されました。

この規格は、装置プロセスのタイプまたはグループに対する主要な装置品質情報パラメータ (EQIP) を特定します。これらの品質パラメータの特定は、機器のユーザーとサプライヤーがプロセス制御の機能を指定して利用できるようにすることを目的としています。

この規格は、この規格で新規および/または既存の装置プロセス タイプの EQIP が特定されると更新されるように設計されています。

対象読者 — この規格は、プロセス制御パラメータの作動に標準化された方法を利用して、選択されたプロセス品質パラメータの機器およびプロセス制御を実現する必要がある、OEM、ユーザー、およびサードパーティの機器およびプロセス制御システムのサプライヤーによる使用を目的としています。

この規格の範囲は、選択された装置プロセスタイプの主要な EQIP を特定し、これらの EQIP のそれぞれに影響を与える設定可能なプロセスプログラムパラメータの非ヌルリストを装置が示すことを指定し、装置が各 EQIP の個別の作動を許可することを指定することに限定されています。これらの各パラメータは SEMI 標準メソッドを使用します。この規格は、すべての品質パラメータを特定することを目的としたものではありません。機器タイプの完全なセットを指定することを目的としたものではありません。

この規格では、主要な EQIP に影響を与えるプロセス プログラム パラメータを作動させる機能が存在する必要がありますが、この作動がどのように行われるかについては規定されていません。たとえば、作動のための通信プロトコルや、この作動機能をサポートして有効にする機器やホストのモデルは定義されません。範囲は、主要な EQIP の定義と、プロセス プログラム パラメーターへのリンクに限定されます。

この規格は、コミュニティがこれらの追加について合意に達すると、機器タイプの EQIP を既存のセットに追加できるように構成されています。さらに、EQIP は、この規格でこれまで取り上げられていなかった新しい機器タイプに対して定義される可能性があります。規格への追加は、SEMI 規格の投票プロセスを利用して行われます。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI E98 — オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定規格

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.