SEMI E127 - 統合測定モジュール通信の仕様: 概念、動作、およびサービス (IMMC) -

Abstract

この規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 12 月 20 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2008 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2003 年 7 月に発行されました。以前は 2007 年 11 月に出版されました。

統合測定（計測または検査）の目的は、測定データへの迅速なアクセスを通じて装置内のプロセス監視を容易にし、プロセスと測定装置の間でのマテリアルハンドリングを削減し、スループットの低下を最小限に抑えながら、またはまったく低下させずにプロセス監視を強化する機会を提供することです。統合された測定の利点により、高度なプロセス制御システムはフィードバック遅延時間を短縮して結果を使用することもできます。 IMMC仕様の目的は、統合測定モジュールのオブジェクトベースの仕様と、統合測定モジュールとその制御ポートおよびデータポートの間の標準インターフェース（これらが異なるサプライヤーによって共通に実装される場合）を提供することです。このインターフェイスを使用すると、特定のオブジェクトのプロパティとサービスにアクセスできます。これにより、モジュールをより大きなシステムに統合するために必要な作業が容易になります。この規格の追加の目的は、オンライン サービスとインターフェイス ドキュメントの組み合わせを通じて、モジュールまたは機器のソフトウェア変更を必要とせずに、IMMC 準拠の統合測定モジュールをマルチモジュール機器と統合できるという十分な情報を提供することです。 。これには、エンドユーザーが機器のユーザー インターフェイスを通じて構成変更を行う必要がある場合があり、特定のオプションはモジュール サプライヤーに委ねられます。

下位標準:

SEMI E127.1-0308 - 統合測定モジュール通信 (IMMC) 用の SECS-II プロトコルの仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E30.5 — 計測固有機器モデル (MSEM) の仕様
SEMI E32 — 物質移動管理 (MMM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E53 —イベントレポート
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E90.1 — SECS-IIプロトコルの基質追跡に関する暫定仕様
SEMI E98 — オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定規格
SEMI E116 — 機器性能追跡に関する暫定仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の暫定仕様
SEMI E148 — 時刻同期の仕様とクロックオブジェクトの定義
SEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様

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