SEMI E115 - 半導体処理装置の RF 電力供給システムで使用される整合ネットワークの負荷インピーダンスと効率を決定するためのテスト方法 -

Abstract

この規格は、Metrics Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 5 月 11 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2002 年 3 月に出版されました。以前は 2009 年 3 月に出版されました。

この文書の目的は、半導体処理装置の RF 電力供給システムで使用される整合ネットワークの負荷インピーダンスと効率を決定するために使用されるテスト方法を定義することです。

この文書は、整合回路網内の同調素子の位置に基づいて整合回路網の負荷インピーダンスと電力効率を決定するために必要な試験手順と試験装置を規定します。

このテスト方法の主な焦点は、次のタイプのツールを含むがこれらに限定されない半導体処理装置です。

• ドライエッチング装置、
• 成膜装置（CVD、PVD）

この規格は、RF エミッションまたは電気規定 (Underwriter's Laboratory, Inc. (UL)、National Electrical Code ( NECâ)、Federal Communications Commission (FCC) など) に関連する安全性またはパフォーマンスの問題には対処しません。このタイプの機器に適用される適切な現地の規定および規制に準拠することは、この規格のユーザーの責任であり、その一部は参照文書でカバーされています。

SEMI E113 — 半導体処理装置のRF電力供給システムの仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.