SEMI E120 - 共通機器モデル (CEM) の仕様 -

Abstract

注意: SEMI E120の指定は、SEMI E120.2の作成を反映するために、0922発行サイクル中に更新されました。

この仕様の目的は、半導体装置の構造および関連要素の一般に適用可能なオブジェクト モデルを提供することです。このオブジェクト モデルは、次の方法で使用することを目的としています。

• 装置の外観を工場ホストに表現する方法に関する装置サプライヤーへのガイドとして。
• 他のSEMI機器通信規格で使用および拡張されるベースモデルとして。
• XML スキーマなどのテクノロジー固有のオブジェクト モデル定義を作成するためのリファレンスとして。

この仕様は、機器メーカーが機器の構造と関連要素をモデル化するために使用できる共通の構成要素のセットを提供します。

この仕様は、利用可能な通信インターフェイスを介して工場ホスト アプリケーションによって表示される機器構造のモデルに適したクラス、属性、関係、およびその他の詳細を定義します。

この仕様に含まれるモデルは、複数の (現在または将来の) 機器通信規格に必要と考えられる機器構造の機能を文書化しています。

下位標準（付属）

SEMI E120.1-0414 - Common Equipment Model (CEM) の XML スキーマ
SEMI E120.2-0922 - 共通機器モデル (CEM) のプロトコル バッファの仕様

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド

改訂履歴
SEMI E120-0922 (指定更新)
SEMI E120-0414 (技術改訂)
SEMI E120-0310 (技術改訂)
SEMI E120-1108 (技術改訂)
SEMI E120-0706 (技術改訂)
SEMI E120-0705E (編集改訂版)
SEMI E120-1104E (編集改訂版)
SEMI E120-0704 (技術改訂)
SEMI E120-0304 (技術改訂)
SEMI E120-0703 (技術改訂)
SEMI E120-0303 (初公開)

SEMI E120.1-0414 (技術改訂)
SEMI E120.1-0310 (技術改訂)
SEMI E120.1-1108 (技術改訂)
SEMI E120.1-0706 (技術改訂)
SEMI E120.1-0705 (技術改訂)
SEMI E120.1-1104 (技術改訂)
SEMI E120.1-0704 (初公開)

SEMI E120.2-0922 (初公開)

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