SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様 -

Abstract

この規格は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 1 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2002 年 11 月。以前は 2016 年 8 月に出版されました。

この仕様書は、レチクルストッカー、リソグラフィー露光装置、レチクル検査装置のレチクルロードポートの寸法要件とオプションを定義します。これは、機器と工場間の均一な物理インターフェースを促進し、自動 RSP 搬送システムの使用を容易にし、手動で積み込む機器の人間工学的要件を満たすことを目的としています。

この規格は、SEMI E100、SEMI E111、および SEMI E112 で指定されているレチクル SMIF ポッド (RSP) のロード ポートのみを対象としています。ウエハ用のロードポートを対象とする同様の要件とオプションは、SEMI E15 (200 mm 以下のウエハ用) および SEMI E15.1 (300 mm ウエハ用) でカバーされています。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E19.3 — 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)、150 mm (6 インチ) ポートの仕様
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E72 — 300 mm の機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド
SEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様
SEMI E111 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) の機械仕様
SEMI E112 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150 mm マルチ レチクル SMIF ポッド (MRSP150) の機械仕様

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