SEMI E145 - XML における測定単位記号の分類 -

Abstract

の 現在の SEMI 内に eXtensible Markup Language (XML) 表記を含める 標準は、XML テクノロジーに対する業界の関心の高まりを反映しています。これ 標準では、XML での測定単位の記号表現が定義されています。 SEMI E5、SEMI E6、および 国際単位系 (SI)。その目的は、標準化された 半導体業界の一般的な単位を表す一連の記号 を使用した標準的なアプローチに基づいて他のシンボルを追加する方法を説明します。 共通のルールセット。

これ 規格は測定単位記号を定義し、追加する一般的な方法を説明しています。 この分類に含まれていない単位には、さらに多くの記号が含まれています。定義します 他のオブジェクトと組み合わせて使用​​されるユニット オブジェクト表現、および XML で表現するためのスキーマを提供します。一般的なものの一部の数 使用される単位とその記号も提供されます。この分類には以下が含まれます 以下：

·     ユニットオブジェクト 意味

·     ユニット 分類表の定義

·     の定義 標準化されたシンボル

·     のルール 他の単位記号の追加

SEMI E5 — 仕様 SEMI機器通信規格2メッセージ内容(SECS-II)

SEMI E6 — ガイド 装置用半導体設置ドキュメント

SEMI E30 — 仕様 製造装置の通信および制御の汎用モデル用 （宝石）

セミ E121 — 半導体製造アプリケーション向けの XML のスタイルと使用法に関するガイド

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